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高純氮?dú)鈴S家 高純氣體

高純氮?dú)庠诩呻娐贰雽?dǎo)體和電真空器件制造中用作保護(hù)氣和運(yùn)載氣，化學(xué)氣相淀積時(shí)的載氣，液體擴(kuò)散源的攜帶氣，在高溫?cái)U(kuò)散爐中用作器件的保護(hù)氣。高純氮在外延、光刻、清洗和蒸發(fā)等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。顯像管制造中要求氮?dú)饧兌葹?

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氮?dú)?，化學(xué)式為N2，通常狀況下是一種無(wú)色無(wú)味的氣體，而且一般氮?dú)獗瓤諝饷芏刃?。氮?dú)庹即髿饪偭康?8.08%（體積分?jǐn)?shù)），是空氣的主要成份之一。在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下，氮?dú)饫鋮s至-195.8℃時(shí)，變成無(wú)色的液體，冷卻至-209.8℃時(shí)，液態(tài)氮變成雪狀

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